酸性銅電気めっき浴の機能的液体添加剤

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345656
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228785
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】銅めっき被膜に改善された延性、すぐれた平滑特性、層間剥離がない良好な接着特性、電流密度の低い領域に対する良好なめっき作用。【構成】この発明は、ハイアシッド/ロウメタル電解銅めっきプロセスと該めっき浴に関するもので、改善された平滑性、接着性、延性ならびにスローイングパワーを備えた銅めっき皮膜を得ることができるものである。前記浴には、機能性流体の有効量が含まれるもので、該機能性流体は、アルコールエポキシまたはビスフェノールAから誘導された少なくとも一つのエーテルグループを有し、さらに、エトキシおよびプロポキシ機能性を含むものである。

請求項（抜粋）：

約13g/lから約45g/lの銅イオンと;約45g/lから約262g/lの量の酸と、浴可溶性マルチ機能性ポリマーの有効量を含み、前記ポリマーは、トリプルエーテル機能性と、プロポキシおよびエトキシエーテルグループとを備え、前記トリプルエーテル機能性においては、エーテル結合の一つがアルコール、ビスフェノール Aまたはエポキシからの誘導体であり、前記マルチ機能性ポリマーによって、低電流密度領域における表面欠陥部を平滑化し、接着性を改善し、めっき状態を改善することを特徴とする基体への銅めっきを行う改良された電気銅めっき浴。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭61-117298
特公平3-040113
特公昭57-052960

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