光学測定機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225982
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060538
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】被測定物の底面像と側面像とを簡易な構成によって同一視野内に隣接して観察できるようにする。【構成】被測定物Wを載置する試料台11の下方に設けて底面像を側方に反射する第1の反射手段12と、この底面像を上方に反射する第2の反射手段13と、試料台の側方に設けて側面像を上記底面像に隣接して上方に反射する第3の反射手段14とを備えてなる。

請求項（抜粋）：

被測定物を載置し下方から被測定物の底面が観視可能な試料台と、該試料台の下方に配設され被測定物の底面像を側方に反射する第1の反射手段と、該第1の反射手段によって反射された被測定物の底面像を上方に反射する第2の反射手段と、前記試料台の側方に配設され被測定物の側面像を上記第2の反射手段で反射された底面像に隣接して上方に反射する第3の反射手段とを備えたことを特徴とする光学測定機。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭53-048762
特開昭63-113518

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