洗浄装置の評価方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107324
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150093
出願日： 1986年05月30日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】被洗浄試料の表面形状に影響されることなく、正確な洗浄力の評価を得る。【構成】被洗浄試料に付着する粒子に励起エネルギーを加え、夫々の粒子から発生する信号を検知して粒子数を計数して洗浄力を評価するものである。【効果】正確な洗浄力の評価ができる。

請求項（抜粋）：

被洗浄試料に付着している粒子数を計数して洗浄力を評価する洗浄装置の評価方法において、励起エネルギーにて信号を発する粒子を前記被洗浄試料に付着させておき、この粒子に励起エネルギーを加え、夫々の粒子から発生された信号を検知して粒子数を計数して洗浄力を評価することを特徴とする洗浄装置の評価方法。

IPC (3件)：

G21F 5/02 , G01N 15/10 , G01N 21/64

引用特許：

審査官引用 (3件)

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