超音波検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-112019
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304769
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】被検体中の異なる深さ位置に発生する欠陥を1回の検査で高精度に検出可能な超音波検査方法を提供する。【解決手段】音響レンズ2上に複数の振動素子3aからなるアレイ振動子3が設けられた超音波プローブ1を被検体10と対向に配置する。音響レンズの焦点FAとアレイ振動子を電子集束することによって作られる焦点FBとを異なる深さ位置に設定して被検体中の各検査面に個別に合致させ、各検査面について同時に欠陥検査を実行する。欠陥が存在すると判定された場合、前記2つの焦点を合致させ、欠陥が存在すると判定された検査面に合致させて再度の欠陥検査を行う。

請求項（抜粋）：

互いに交叉する方向に複数の直線状の焦点を結ばせることができ、かつそれら複数の焦点位置を深さ方向に関してずらすことも合致させることもできるように構成された超音波プローブを用い、前記複数の焦点をそれぞれ異なる検査面に個別に合致させて被検体の欠陥検査を行うことを特徴とする超音波検査方法。

IPC (2件)：

G01N 29/10 , G01N 29/24 502

FI (2件)：

G01N 29/10 , G01N 29/24 502

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