特許
J-GLOBAL ID：200903093111537767

光画像計測装置

発明者：
チャン キンプイ

チャン キンプイ について

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秋葉 正博

秋葉 正博 について

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福間 康文

福間 康文 について

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大塚 浩之

大塚 浩之 について

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塚田 央

塚田 央 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100742
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283472
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 被測定物体の深さ方向の走査間隔を精度よく容易に変更できる光画像計測装置を提供する。【解決手段】 被測定物体Oを経由した信号光Sと周波数がシフトされた参照光Rとを重畳することにより干渉光を生成する干渉光学系と、鏡7を駆動して被測定物体Oを深さ方向に走査する参照鏡駆動手段74と、干渉光をサンプリングするシャッタ31等と、所定の蓄積時間だけ電荷を蓄積し電気信号として出力するCCD21等と、CCD21等の蓄積時間を変更する制御手段76と、変更された蓄積時間毎にCCD21等から順次出力される電気信号に基づき、上記走査に応じてCCD21等により順次検出される、被測定物体Oの複数の深さに対応する干渉光の強度及び位相を演算する信号処理部60とを備える。また、オペレータがCCD21等の蓄積時間を設定するための設定操作手段75を備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光ビームを出射する光源と、この光源からの光ビームを、被測定物体を経由する信号光と所定の参照物体を経由する参照光とに分割し、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせた後に、前記被測定物体を経由した前記信号光と前記参照物体を経由した前記参照光とを互いに重畳させて干渉光を生成する干渉光学系とを含んでおり、前記干渉光に基づいて、前記参照物体の位置に対応する深さにおける前記被測定物体の画像を取得する光画像計測装置であって、 前記干渉光の強度を所定の周波数にて周期的に変調する強度変調手段と、 前記強度変調された前記干渉光を受光して光電変換し、所定の蓄積時間だけ電荷を蓄積した後に当該蓄積した電荷量に対応する電気信号を出力する光検出手段と、 前記光検出手段の前記蓄積時間を変更する制御手段と、 前記変更された蓄積時間毎に前記光検出手段から出力される前記電気信号に基づき、前記光検出手段により検出される前記被測定物体の前記深さに対応する前記干渉光の強度及び位相を演算する演算手段と、 を備えていることを特徴とする光画像計測装置。
IPC (2件)：
G01N21/17 ,  G01B11/00
FI (2件)：
G01N21/17 630 ,  G01B11/00 G
Fターム (39件)：
2F065BB21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ19 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG08 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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