特許
J-GLOBAL ID：200903093113153753
ターボ分子ポンプの電源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136354
公開番号（公開出願番号）：特開平9-317687
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 反応性生成物のポンプ内での付着堆積を高温制御によって防止することができるターボ分子ポンプの電源装置を小型化する。【解決手段】 ヒータにより温度制御を行うターボ分子ポンプに電力を供給する電源装置であって、整流回路16と絶縁DC-DCコンバータ17とインバータ13の直列接続回路と、絶縁DC-DCコンバータ7の分岐出力を制御するスイッチング手段12を備え、外部交流20を整流回路16で直流に変換し、絶縁DC-DCコンバータ17で所定の直流電圧としインバータ13の直流出力をモータ23への供給電力とし、絶縁DC-DCコンバータ17の分岐出力をヒータ22への供給電力とする。インバータ13の負荷が小さくポンプ温度が設定温度以下のときにヒータ22への電力供給を行い、インバータ13の負荷が大きなとき、あるいはポンプ温度が設定温度以上のときにはヒータ22への電力供給を停止する。
請求項（抜粋）：
ヒータにより温度制御を行うターボ分子ポンプに電力を供給する電源装置であって、整流回路と絶縁DC-DCコンバータとインバータの直列接続回路と、絶縁DC-DCコンバータの分岐出力を制御するスイッチング手段を備え、インバータの出力をターボ分子ポンプのモータへの供給電力とし、絶縁DC-DCコンバータの分岐出力をヒータへの供給電力とすることを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04D 19/04 G
, F04D 19/04 H
, F04D 15/00 A
