特許
J-GLOBAL ID：200903093113228354
銅エッチング液の廃液の再生方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-307246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140672
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 有機酸および第二銅イオンを含む銅エッチング液の廃液を安全で、効率よく、安定して再生できる方法を提供する。【解決手段】 有機酸および第二銅イオンを含む銅エッチング液の廃液と、酸性リン酸エステル系抽出剤またはオキシム系抽出剤とを接触させ、廃液から銅を抽出除去することを特徴とする銅エッチング液の廃液の再生方法。
請求項（抜粋）：
有機酸および第二銅イオンを含む銅エッチング液の廃液と、酸性リン酸エステル系抽出剤またはオキシム系抽出剤とを接触させ、廃液から銅を抽出除去することを特徴とする銅エッチング液の廃液の再生方法。
IPC (3件)：
C23F 1/46
, B01D 11/04
, H01L 23/50
C23F 1/46
, B01D 11/04 B
, H01L 23/50 A
