特許

J-GLOBAL ID：200903093127217460

処理液を用いる処理装置

発明者： 川上 順三 ,  須貝 信之
出願人/特許権者： シャープ株式会社 ,  シャープマニファクチャリングシステム株式会社
代理人 (1件)： 佐野 静夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178211
公開番号（公開出願番号）：特開2001-000927
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 従来の処理装置では、被処理物を処理液中に浸漬保持する支持部材の変形を防ぐために、前記支持部材をローラーで補助的に支持していた。しかし、ローラーを無潤滑状態で使用せねばならず、偏摩耗や発塵が問題であった。【解決手段】 上記問題を解決するために、処理液1を蓄える処理液槽2と、前記処理液1中に被処理物9を浸漬保持する支持部材3と、前記支持部材3を昇降させる昇降駆動装置7から成る液処理装置において、前記支持部材3に加圧流体噴出口部材15を設け、加圧流体を前記処理液槽2に向けて噴出することで、前記支持部材3を前記処理液槽2から浮かせた状態で昇降する機構としている。

請求項（抜粋）：

処理液を蓄える処理液槽と、前記処理液中に被処理物を浸漬保持する支持部材と、前記支持部材を昇降させる昇降駆動装置から成る処理装置において、前記支持部材に加圧流体噴出口を設け、加圧した流体を前記処理液槽の内側面に向けて噴出することにより、前記支持部材を前記処理液槽の内側面から浮かせた状態で昇降させることを特徴とする処理装置。

IPC (4件)：

B08B 3/04 ,  B05C 3/09 ,  B05D 1/18 ,  G02F 1/1333 500

FI (4件)：

B08B 3/04 A ,  B05C 3/09 ,  B05D 1/18 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (25件)：

2H090HC18 ,  2H090JC19 ,  3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB40 ,  3B201AB45 ,  3B201BB02 ,  3B201BB03 ,  3B201BB04 ,  4D075AB03 ,  4D075AB12 ,  4D075AB38 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EB60 ,  4F040AA01 ,  4F040AA14 ,  4F040AB20 ,  4F040AC02 ,  4F040BA42 ,  4F040CC02 ,  4F040CC08 ,  4F040CC18 ,  4F040CC20