特許

J-GLOBAL ID：200903093128900601

感光性ペースト

発明者： 井口 雄一朗 ,  正木 孝樹 ,  岩永 慶二
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151308
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310030
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性ペースト。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子の平均屈折率N1と有機成分の平均屈折率N2が、次式を満たすことを特徴とする感光性ペースト。-0.1≦N1-N2≦0.2

IPC (9件)：

C09D 4/00 PDS ,  C03C 4/04 ,  C03C 12/00 ,  C09D 7/12 PSK ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 ,  G09F 9/313 ,  H01J 9/02 ,  H05K 1/09

FI (9件)：

C09D 4/00 PDS ,  C03C 4/04 ,  C03C 12/00 ,  C09D 7/12 PSK ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 ,  G09F 9/313 Z ,  H01J 9/02 ,  H05K 1/09 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-158861
  
• 感光性絶縁ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-188284   出願人：東レ株式会社
• 特開平2-223132