特許

J-GLOBAL ID：200903093129001600

ドライバーモノリシック駆動素子

発明者： 片岡 義晴 ,  岡本 昌也 ,  片山 幹雄 ,  喜多 隆介
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144325
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335671
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 耐絶縁性を損なわずにドライバーモノリシック駆動素子を小型化する。【解決手段】 ゲート電極12上に、SrTiO3、またはBaを添加したSrTiO3等の高誘電率絶縁膜からなる第1のゲート絶縁膜20と第2のゲート絶縁膜14とを形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に相互に交差して設けられている複数の走査線および複数の信号線と、該走査線および該信号線の交差部近傍に設けられている表示用アクティブ素子と、該表示用アクティブ素子に接続されている画素電極とからなる表示部を有するアクティブマトリクス基板の該表示部の外側に設けられ、論理・駆動回路からなるドライバーを構成するドライバーモノリシック駆動素子であって、ゲート電極上に設けられているゲート絶縁膜が、少なくとも一部に高誘電率絶縁膜を有する構成となっているドライバーモノリシック駆動素子。

IPC (2件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1345

FI (4件)：

H01L 29/78 612 B ,  G02F 1/1345 ,  H01L 29/78 617 T ,  H01L 29/78 617 U