特許

J-GLOBAL ID：200903093130510900

単結晶材料のカット面検査装置

発明者： 町谷 芳郎
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343173
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167464
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 高精度のカット面検査が可能な2結晶法のX線光学系を用いた場合に、測定対象である単結晶材料を別の種類に変えるときにもX線光学系の配置を変更する必要がなく、さらに作業者にとってX線ビームによる危険性取り除く。【構成】 X線を放射するX線管9と、X線管9から放射されたX線を単結晶材料2へ向けて回折させる第1結晶13と、単結晶材料2で回折したX線を検出するX線カウンタ6とを有しており、X線カウンタ6によって検出されるX線の回折角度から単結晶材料2のカット面2aの内部結晶格子面に対する角度偏差を測定する単結晶材料のカット面検査装置において、第1結晶13としてチャンネルカット結晶を用いる。

請求項（抜粋）：

X線を放射するX線源と、X線源から放射されたX線を単結晶材料へ向けて回折させる第1結晶と、単結晶材料で回折したX線を検出するX線検出手段とを有しており、X線検出手段によって検出されるX線の回折角度から単結晶材料のカット面の内部結晶格子面に対する角度偏差を測定する単結晶材料のカット面検査装置において、上記第1結晶としてチャンネルカット結晶を用いたことを特徴とする単結晶材料のカット面検査装置。