特許

J-GLOBAL ID：200903093131843449

質量検出型ガスセンサ

発明者： 横山 博夫 ,  平本 廣幸 ,  安田 喜昭
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-234310
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056278
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】 従来の質量検出型ガスセンサにおいては、検出素子であるカンチレバーは小型化できるが、その変位の検出が大がかりとなり、結果として大型且つ高価で汎用性に欠ける問題点を生じていた。【解決手段】 本発明により、検出が特定ガスを吸収したことによるカンチレバー2のたわみを適宜位置に設けたピエゾ抵抗素子4の電気的な変化量として測定する質量検出型ガスセンサとし、加えて吸着部3若しくはその近傍にはヒーター素子5を設け特定ガスを蒸発させて除去し、カンチレバー2を特定ガスを吸着しない状態として補正を行う質量検出型ガスセンサ1としたことで、カンチレバーの変位の測定を抵抗測定という極めて簡便な手段で行えるものとして、システムの煩雑化を避け、全体構成の簡素化、小型化を可能として課題を解決する。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの先端部に吸着部を設け、この吸着部が特定ガスを吸着したときの前記カンチレバーの特性変化により特定ガスの有無を検出して成る質量検出型ガスセンサにおいて、前記検出が、特定ガスを吸収したことによる前記カンチレバーのたわみを該カンチレバーの適宜位置に設けたピエゾ抵抗素子の電気的な変化量として測定することを特徴とする質量検出型ガスセンサ。