特許

J-GLOBAL ID：200903093131850240

液晶パネル基板の導電性薄膜パターニング方法および装置

発明者： 坂本 由美 ,  金子 寿輝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347213
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171814
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】エッチングレートの速い導電性薄膜のエッチング処理工程での加工精度を向上した液晶パネル基板の導電性薄膜パターニング方法および装置を提供する。【解決手段】導電性薄膜を所定の開口パターンのレジストマスクで被覆した液晶パネル基板SUB1を高速回転させながら当該液晶パネル基板に対して略直角な方向からエッチング液ETLを低流量スプレーする。このとき、液晶パネル基板の回転数を毎分500〜1500回転、エッチング液のスプレーの流量は毎分5〜10リットルとした。

請求項（抜粋）：

導電性薄膜を所定の開口パターンのレジストマスクで被覆した液晶パネル基板を高速回転させながら当該液晶パネル基板に対して略直角な方向からエッチング液を低流量スプレーすることを特徴とする液晶パネル基板の導電性薄膜パターニング方法。

IPC (4件)：

G02F 1/1343 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  C23F 1/08 103

FI (3件)：

G02F 1/1343 ,  C23F 1/08 103 ,  H01L 29/78 612 D

Fターム (56件)：

2H092JA24 ,  2H092JB52 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA15 ,  2H092MA18 ,  2H092MA24 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092NA01 ,  2H092PA06 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092PA13 ,  4K057DB06 ,  4K057DB11 ,  4K057DB15 ,  4K057DE02 ,  4K057DE06 ,  4K057WA11 ,  4K057WB08 ,  4K057WB11 ,  4K057WB15 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WE08 ,  4K057WE12 ,  4K057WE30 ,  4K057WM06 ,  4K057WM11 ,  4K057WN01 ,  5F110BB02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE34 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG35 ,  5F110GG45 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ05