特許

J-GLOBAL ID：200903093137254100

電子線照射装置

発明者： 岩本 英司 ,  林 司 ,  錦見 敏朗
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228800
出願日： 2001年02月05日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 フィラメントの発熱に起因する課題、各フィラメントから放出される電子が集中することに起因する課題およびフィラメント加熱時に窓箔が破れたときの課題を解決することのできる電子線照射装置を提供する。【解決手段】 この電子線照射装置は、電子源として、フィラメントではなく、多数のナノチューブを有していて電界放出によって電子22を放出する複数個の電子放出チップ20を備えており、これを真空容器4内にY方向に長く配列している。

請求項（抜粋）：

真空容器と、この真空容器内に配列されていて、多数のナノチューブおよびそれに対向するグリッドを有していて電界放出によって電子を放出する複数個の電子放出チップと、この各電子放出チップに電子を放出させる電圧を印加するグリッド電源と、前記各電子放出チップから放出された電子を加速する加速電源と、前記真空容器の内外の雰囲気を分離すると共に、前記各電子放出チップから放出されかつ加速された電子を透過させる窓箔とを備えることを特徴とする電子線照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  B01J 19/12 ,  A61L 2/08

FI (4件)：

G21K 5/04 F ,  G21K 5/04 C ,  B01J 19/12 A ,  A61L 2/08

Fターム (18件)：

4C058BB06 ,  4C058KK01 ,  4C058KK21 ,  4C058KK32 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BB10 ,  4G075CA24 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EA02 ,  4G075EB21 ,  4G075EC21 ,  4G075ED13 ,  4G075FA20 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03 ,  4G075FB04