特許

J-GLOBAL ID：200903093137547329

搬送装置及び搬送方法

発明者： 吉川 勇希
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212028
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031250
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 基板の搬送中や受け渡し中に真空源の動作が停止した場合であっても、基板について再度の位置合わせが不要である搬送装置。【解決手段】 このアームユニット2は、3次元的に移動するアーム本体21と、基板Wを垂直な姿勢に保持するべくアーム本体21の一方の面上に立設された複数の把持部材22と、各把持部材22をアーム本体21上で摺動自在に支持するスライドガイド23と、各スライドガイド23の近傍に固設されて把持部材22を往復駆動するアクチュエータ24と、把持部材22に把持された基板Wの位置を検出する位置センサ25とを備える。アクチュエータ24を動作させるための用力が遮断されてしまった場合であっても、3ポートダブルソレノイドタイプの電磁弁32の構造上、電磁弁32の状態が維持されて両チューブ30、31への空圧供給状態も維持され、基板Wが落下したり位置ずれすることを効果的に防止することができる。

請求項（抜粋）：

動作状態で、マスク及び基板のいずれかである板状の被搬送体の周囲の複数箇所に個別に嵌合して前記被搬送体を保持するとともに、退避状態で、前記被搬送体の周囲から離間して保持を解除する複数の把持部材と、前記複数の把持部材を前記動作状態に維持するロック機構と、を備える搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 N ,  B25J 15/08 K ,  B25J 15/08 V ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (20件)：

3F061AA01 ,  3F061BA06 ,  3F061BB08 ,  3F061BC19 ,  3F061BD03 ,  3F061BD04 ,  3F061BE12 ,  3F061BF00 ,  3F061BF07 ,  3F061DB00 ,  3F061DD01 ,  5F031BC04 ,  5F031CC12 ,  5F031CC32 ,  5F031CC43 ,  5F031FF05 ,  5F031JJ03 ,  5F031KK04 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01