特許
J-GLOBAL ID：200903093138732200
共鳴センサーとして使用するための微細加工された超音波アレイ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
, 北野 健
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-529750
公開番号（公開出願番号）：特表2004-510145
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
共鳴センサーとして使用するための微細加工されたセンサーのための装置および方法を提供する。1つの態様として、センサーのアレイは、電気的に共通な膜、絶縁スペーサーおよび駆動素子を含む基盤を有することにより形成される。任意に、静電駆動力が膜を共鳴させる原因となり、結合事象が検出される。検出は、容量的、圧電的、圧抵抗的または光学的である。任意の孔により大気との平衡を可能にする。位相固定ループ回路または整調できる発振器回路を含む検出回路を利用できる。薬品探査などのハイスループットスクリーニングを実施できる。【選択図】図9a
請求項（抜粋）：
力または膜表面特性の変化を検出するための膜を含むミクロメカニカルセンサーであって、前記センサーは、
基板;および
前記基板上または基板中に1またはそれ以上の層、を含み、
前記1またはそれ以上の層は空洞を形成し、または、前記基板および前記1またはそれ以上の層は空洞を形成し、
前記空洞は、
1またはそれ以上の側壁;
前記空洞の上部を覆う膜;および
少なくとも2つの電極、を含み、
前記膜は前記空洞の上部を通じた液体の侵入に対する実質的なバリアを提供し、ここで上部の電極が膜であるかまたはその膜の上、中または下に加工され、下部の電極がその膜の下にあり、前記膜の組成および寸法は前記下部の電極における電気シグナルの変化に応じて前記膜が振動または共鳴できるようにされ、ここで前記力または膜表面特性の変化は膜応答の変化としてセンサーにより検出されることを特徴とするセンサー。
IPC (3件)：
G01N5/02
, G01N33/483
, G01N33/566
G01N5/02 A
, G01N33/483 A
, G01N33/566
2G045DA13
, 2G045DA30
, 2G045DA36
, 2G045FB02
, 2G045FB03
, 2G045GC30
