特許

J-GLOBAL ID：200903093147107165

光学収差測定方法及び光学収差測定装置

発明者： 水野 剛 ,  山田 隆俊
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-202704
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022606
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 NA>1の高開口数の対物レンズに対しても光干渉測定による収差測定を可能とする。【解決手段】 開口数NA>1である対物レンズの光学収差を光干渉測定により測定するに際し、対物レンズの底面に半球参照ミラーの平面部が対向するように配置し、これら対物レンズの底面と半球参照ミラーの平面部の間にマッチングオイルを介在せしめるとともに、対物レンズと半球参照ミラーの光軸が一致するようにアライメントし、干渉系の一方の光学パスを構成する。SILやSIMの場合、入射光が底面(記録・再生面)で全反射され、レンズの外に光が伝搬しないが、この底面部分に半球参照ミラーの平面部が接するように配置し、底面における全反射条件を回避することで、透過型の光学系が構成される。

請求項（抜粋）：

開口数NA>1である対物レンズの光学収差を光干渉測定により測定するに際し、当該対物レンズの底面に半球参照ミラーの平面部が対向するように配置し、これら対物レンズの底面と半球参照ミラーの平面部の間にマッチングオイルを介在せしめるとともに、対物レンズと半球参照ミラーの光軸が一致するようにアライメントし、干渉系の一方の光学パスを構成することを特徴とする光学収差測定方法。

IPC (5件)：

G01M 11/02 ,  G02B 13/00 ,  G02B 17/08 ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135

FI (6件)：

G01M 11/02 B ,  G02B 13/00 ,  G02B 17/08 Z ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 7/135 A

Fターム (19件)：

2G086HH06 ,  2H087KA13 ,  2H087LA01 ,  2H087PA01 ,  2H087PA17 ,  2H087PB01 ,  2H087QA02 ,  2H087QA05 ,  2H087QA13 ,  2H087QA33 ,  2H087TA01 ,  2H087TA04 ,  5D119AA22 ,  5D119DA20 ,  5D119JA32 ,  5D119JA43 ,  5D119JA57 ,  5D119JB02 ,  5D119LB05