特許
J-GLOBAL ID：200903093147158622

レーザー測長器及び光ディスク原盤露光装置

発明者：
宮田 弘幸

宮田 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-157444
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274550
出願日： 2004年05月27日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 被測定面の微細な凹凸の影響を受けにくくするとともに、被測定面に局在する比較的大きなキズ等の影響を排除し、精度良く円筒側面等の曲面の変位測定を行うことができるレーザー測長器を提供する。【解決手段】 ビーム分割手段100と、分割されたレーザービームを第1のビームと第2のビームに分割すると共に、参照ミラー3から反射されて戻る第1のビームと被測定物5から反射されて戻る第2のビームとを合成する干渉計2と、対物レンズ光学系4と、干渉計2から出射される干渉光を集光する集光レンズ110と、光検出器6と、測長回路7とを備える。そして、分割された第1のビームまたは第2のビームのうち任意の部分を遮断するビーム遮断手段120をビーム分割手段100と干渉計2との間に備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被測定物の移動量を測定するレーザー測長器において、 レーザー光源から出射されたレーザービームを直線上にならぶ複数のビームに分割するビーム分割手段と、 前記分割された複数のレーザービームそれぞれを第1のビームと第2のビームに分割すると共に、参照ミラーから反射されて戻る第1のビームと被測定物から反射されて戻る第2のビームとを干渉するように合成し複数の干渉光を出射する干渉計と、 該干渉計から出射される複数の第2のビームそれぞれを集光して前記被測定物表面に照射し、該被測定物表面からの反射光を再び平行ビームにして前記干渉計に戻す対物レンズ光学系と、 前記干渉計から出射される複数の干渉光を1つに集光する集光レンズと、 前記集光された干渉光の強度を検出して電気信号に変換する光検出器と、 該光検出器の出力に基づき測長を行う測長回路と、 を備えることを特徴とするレーザー測長器。
IPC (3件)：
G01B11/00 ,  G01B9/02 ,  G11B7/26
FI (3件)：
G01B11/00 G ,  G01B9/02 ,  G11B7/26 501
Fターム (42件)：
2F064AA01 ,  2F064BB01 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG34 ,  2F064GG38 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA09 ,  2F065BB06 ,  2F065BB16 ,  2F065CC03 ,  2F065DD04 ,  2F065DD13 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065GG05 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL11 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL34 ,  2F065LL35 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ27 ,  2F065UU01 ,  2F065UU07 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • レーザ干渉測長器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095349   出願人：株式会社東芝
  • レーザ測長計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-170988   出願人：株式会社日立製作所
  • レーザー測長器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-134321   出願人：株式会社リコー

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