特許

J-GLOBAL ID：200903093147767289

静電気除去装置およびその静電気除去方法

発明者： 中嶋 一成
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-178662
公開番号（公開出願番号）：特開2001-357996
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】加工対象物の温度低下を防止し、所望の温度で加工しながら静電気を除去出来るようにする。【解決手段】エアー供給手段10からのエアー18をイオン発生部11に供給し、このイオン発生部11で発生したイオン化したエアーを除電対象物20に吹き付けて除電対象物20の静電気を中和し除去する静電気除去装置として、イオン化したエアーを加熱する加熱手段(ヒーター)14と、この加熱手段14の温度を制御する温度制御部15とを備え、一定の温度で加熱されたイオン化エアー19を除電対象物20に吹き付けるようにする。

請求項（抜粋）：

イオン発生部で発生したイオン化したエアーを除電対象物に吹き付けその除電対象物の静電気を中和し除去する静電気除去装置において、イオン化したエアーを加熱する加熱手段と、この加熱手段の温度を制御する温度制御部とを備え、前記イオン化したエアーを一定の温度で前記除電対象物に吹き付けるようにしたことを特徴とする静電気除去装置。

IPC (2件)：

H05F 3/04 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H05F 3/04 J ,  H05F 3/04 D ,  H01L 21/02 Z

Fターム (7件)：

5G067AA41 ,  5G067DA01 ,  5G067DA19 ,  5G067DA21 ,  5G067DA22 ,  5G067DA40 ,  5G067EA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エアー洗浄機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-133487   出願人：オリオン機械株式会社
• 特開平4-071197