特許

J-GLOBAL ID：200903093150745008

微量酸素測定装置及び測定方法

発明者： 水谷 吉彦 ,  室口 昭宏
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236964
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048764
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ppb単位での酸素濃度測定のための検量線を作成することにより、正確に微量酸素濃度の測定が可能な測定装置及び測定方法の提供。【解決手段】 限界電流形酸素センサの出力値と酸素濃度との関係の直線性を確保するために、濃度検出セルの制御電圧が確実にネルンストの式に追従する比較的高い酸素濃度範囲に設定すること、測定ガス中の酸素濃度が制御濃度未満の場合には、より高い酸素濃度を有する電極から汲み込みが可能となるようにポンプ対極を専用の空気ダクトに設けること、ポンプ電流による電圧降下等の影響を受けないよう濃度検出セル電極とポンプセル電極とは独立して設けること、共存する可燃性ガス等の干渉ガスの影響を排除するための手段を講ずること、及びppb単位での酸素濃度測定用の検量線の作成が可能となる手段を測定装置に組み込むことにより達成。

請求項（抜粋）：

ブランクセンサおよびメジャーセンサとして使用可能な酸素イオン伝導性固体電解質と金属電極からなる酸素ポンプセルと濃度検出セルとを備えた限界電流形酸素センサを少なくとも1個備えてなる微量酸素測定装置であって、当該限界電流形酸素センサがブランクセンサとして機能するときは、測定ガスを酸素除去装置を通じて得られる脱酸素測定ガスの酸素濃度を限界電流形センサのポンプ電流で測定し、当該限界電流形酸素センサがメジャーセンサとして機能するときは、測定ガスの酸素濃度を限界電流形センサのポンプ電流で測定し、メジャーセンサとブランクセンサのポンプ電流の差を、当該測定ガスに含まれる酸素濃度として算出する機構を有することを特徴とする微量酸素測定装置。

IPC (4件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/26 381 ,  G01N 27/28 ,  G01N 27/419

FI (5件)：

G01N 27/26 381 B ,  G01N 27/28 M ,  G01N 27/46 321 ,  G01N 27/46 327 E ,  G01N 27/46 327 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公昭51-041077
  
• 特公昭51-041077
  
• 特開昭52-102793
  
• 特開昭60-047953