特許

J-GLOBAL ID：200903093152249792

超音波洗浄装置

発明者： 松崎 伸樹
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112530
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296199
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 この発明はわずかな設置スペ-スで液晶用ガラス基板に洗浄とリンスとを行うことができる超音波洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 超音波振動が付与された洗浄液で液晶用ガラス基板2を洗浄するための超音波洗浄装置において、装置本体5と、この装置本体に形成され先端が装置本体の下面に開口した第1のノズル口8をなし内部に供給された上記洗浄液を上記第1のノズル口から噴出させる第1の流路6と、上記装置本体に上記第1の流路に一側面を露出させて設けられ他側面に超音波振動する超音波振動子12が設けられていて、上記第1の流路に供給された洗浄液に超音波振動を付与する振動板11と、先端が上記装置本体の下面に開口した第2のノズル口16をなし内部にリンス液が供給されそのリンス液を上記第2のノズル口から噴出させる第2の流路7とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

超音波振動が付与された洗浄液で被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置において、装置本体と、この装置本体に形成され先端が装置本体の下面に開口した第1のノズル口をなし内部に供給された上記洗浄液を上記第1のノズル口から噴出させる第1の流路と、上記装置本体に上記第1の流路に一側面を露出させて設けられ他側面に超音波振動する超音波振動子が設けられていて、上記第1の流路に供給された洗浄液に超音波振動を付与する振動板と、先端が上記装置本体の下面に開口した第2のノズル口をなし内部にリンス液が供給されそのリンス液を上記第2のノズル口から噴出させる第2の流路とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/12 ,  B05B 7/00 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

B08B 3/12 Z ,  B05B 7/00 ,  H01L 21/304 341 N