特許

J-GLOBAL ID：200903093154425822

ウエハ洗浄液

発明者： 毛塚 健彦 ,  板野 充司
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-040389
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 極めて低いエッチングレートのウエハ洗浄液を提供する。【解決手段】 界面活性剤を含有するアルカリ水溶液である低エッチングレートのシリコン又はポリシリコンウエハ洗浄液。

請求項（抜粋）：

界面活性剤を含有するアルカリ水溶液である低エッチングレートのシリコン又はポリシリコンウエハ洗浄液。

IPC (4件)：

C11D 1/04 ,  C11D 1/12 ,  C11D 1/22 ,  C11D 1/72

FI (4件)：

C11D 1/04 ,  C11D 1/12 ,  C11D 1/22 ,  C11D 1/72

Fターム (10件)：

4H003AB04 ,  4H003AB19 ,  4H003AB20 ,  4H003AB24 ,  4H003AB27 ,  4H003AC08 ,  4H003AC11 ,  4H003DA15 ,  4H003DB01 ,  4H003EB19