特許

J-GLOBAL ID：200903093157582406

レーザ走査顕微鏡

発明者： 田中 良治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110841
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324268
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】散乱物質でできた基板内の微細パターンを高解像度で観察可能なレーザ走査顕微鏡。【構成】レーザ光源1と、レーザビームの周波数をシフトする周波数シフタ3と、レーザビームを集光する対物レンズ8と、被観察物7を透過したレーザビームと透過させないレーザビームを合成し干渉させるハーフミラー11と、干渉によって発生したビート信号を同期検波するロックインアンプ18とを含んで構成される。【効果】光ヘテロダイン干渉を利用することにより散乱物質中を直進透過する直接光だけ検出できるので、散乱物質中の微細パターンを高解像度で観察することができる。

請求項（抜粋）：

第1の周波数のレーザビームを集光して被観察物に照射する対物レンズと、前記被観察物を透過したレーザビームをコリメートするコリメートレンズと、前記コリメートレンズでコリメートされたレーザビームを前記第1の周波数から△fだけシフトした第2の周波数のレーザビームに重ねて構成する光路合成器と、前記光路合成器によって合成されたレーザビームを検出する光検出器と、前記第2の周波数の前記第1の周波数からのシフト量△fの周波数の参照信号で前期光検出器の出力を同期検波するロックインアンプとを含むことを特徴とするレーザ走査顕微鏡。