特許
J-GLOBAL ID：200903093158019330
電力用半導体素子
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004644
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275818
出願日： 1994年01月20日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 優れたターンオン特性及びターンオフ特性を有する電力用半導体素子を提供する。【構成】 第1導電型のエミッタ層1上に形成された第2導電型のベース層3上に第1導電型のベース層4、第2導電型のエミッタ層5及び第1導電型の高濃度層13が形成され、第1導電型のベース層内に第2導電型のエミッタ層と所定の間隔を隔てて形成された第2導電型のソース層6が、第2導電型のエミッタ層内に高濃度層と所定の間隔を隔てて第1導電型のソース層12が形成され、第2導電型のソース層と第2導電型のエミッタ層に挾まれた領域上に第1のゲート絶縁膜9を介して第1のゲート電極10が、第1導電型の高濃度層と第1導電型のソース層に挾まれた領域上に第2のゲート絶縁膜を介して第2のゲート電極11が形成されている。第1導電型のエミッタ層上には第1の主電極が、第1導電型のベース層、第2導電型のソース層及び第1導電型のソース層に同時にコンタクトするように第2の主電極が形成されている。
請求項（抜粋）：
第1導電型のエミッタ層と、この第1導電型のエミッタ層に接するように形成された第2導電型のベース層と、この第2導電型のベース層に接し且つ前記第1導電型のエミッタ層に接しないように形成された第1導電型のベース層と、この第1導電型のベース層に接し且つ前記第2導電型のベース層に接しないように形成された第2導電型のソース層と、前記第2導電型のベース層に接し且つ前記第1導電型のベース層に接しないように形成された第1導電型のフローティング層と、第1導電型の第1の介在領域を介して前記第2導電型のソース層と接続された第2導電型のエミッタ層と、第2導電型の第2の介在領域を介して前記第1導電型のフローティング層と接続された第1導電型の仲介領域と、前記第2導電型のソース層と前記第2導電型のエミッタ層との間の前記第1の介在領域上にゲート絶縁膜を介して形成された第1のゲート電極と、前記第1導電型のフローティング層と前記第1導電型の仲介領域との間の前記第2の介在領域上にゲート絶縁膜を介して形成された第2のゲート電極と、前記第1導電型のエミッタ層に接続された第1の主電極と、前記第1導電型のベース層、第2導電型のソース層および前記第1導電型の仲介領域に接続された第2の主電極とを具備する電力用半導体素子。
IPC (3件)：
H01L 29/74
, H01L 21/336
, H01L 29/784
