特許

J-GLOBAL ID：200903093159005791

樹脂試料の電子顕微鏡観察方法

発明者： 大山 淳史 ,  上野 理恵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340465
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153765
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 表面に導電膜を蒸着せずに樹脂試料を通常型の走査型電子顕微鏡観察を行なう方法を提供する。【解決手段】 本発明は、基板上の導電膜上の、膜厚が50μm以下の樹脂試料の表面形態を走査型電子顕微鏡により観察する方法であって、該走査型電子顕微鏡の電子銃部及び試料室内の真空度を1.3×10-3Pa以上に保ちながら、該樹脂試料の同一観察領域を、電子線の加速電圧を5kV以下及び10kV以上の二つの条件で観察する走査型電子顕微鏡による前記試料の観察方法を提供する。

請求項（抜粋）：

基板上に成膜された導電膜上の、膜厚が50μm以下の樹脂試料の表面形態を走査型電子顕微鏡により観察する方法であって、該走査型電子顕微鏡の試料室内の真空度及び電子銃部の真空度を1.3×10-3Pa以上に保ちながら、該樹脂試料の同一観察領域を、電子線の加速電圧を5kV以下及び10kV以上の二つの条件で観察する走査型電子顕微鏡による試料観察方法。

IPC (4件)：

G01N 1/28 ,  B23K 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

B23K 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 B ,  G01N 1/28 F ,  G01N 1/28 N

Fターム (27件)：

2G001AA03 ,  2G001AA09 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001JA02 ,  2G001JA12 ,  2G001JA14 ,  2G001KA20 ,  2G001LA05 ,  2G001MA05 ,  2G001NA03 ,  2G001NA07 ,  2G001NA10 ,  2G001NA12 ,  2G001NA17 ,  2G001RA02 ,  2G001RA03 ,  2G001RA05 ,  2G001RA08 ,  4E066BB02 ,  4E066BC00 ,  4E066BC02 ,  4E066CB18 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03