特許
J-GLOBAL ID：200903093160407526
紫外線照射装置及び紫外線照射方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069463
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260410
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 紫外線照射装置による高出力低温露光処理を可能にする。【構成】 紫外線照射装置は、対象物2に紫外線を照射する水冷二重管構造の紫外線ランプ1と、対象物2と紫外線ランプ1の間に介在する熱線遮断フィルタ4と、紫外線ランプ1及び対象物2に冷風を供給する冷却器5とを備えている。又、電源コントローラ7を備えており、所定のシーケンスプログラムにより紫外線ランプ1の二段出力切り換えを自動的に行なう。さらに、紫外線遮断マスク8を備えており、対象物2の非露光領域を選択的に遮光する。
請求項（抜粋）：
対象物に紫外線を照射する水冷二重管構造の紫外線ランプと、対象物と紫外線ランプの間に介在する熱線遮断フィルタと、紫外線ランプ及び対象物に冷風を供給する冷却器とを備えており、高出力低温露光を可能とした紫外線照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/54
, G03F 7/20 501
, H01L 21/26
