固体撮像装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-005152
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190819
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】本発明は、マイクロレンズの焦光率の低下を抑制することを主要な目的とする。【構成】内部増幅機能を有するマイクロレンズ付CMD受光素子を光電変換素子として用いた画素を、半導体基板(44)上にマトリクス状に配置した固体撮像装置において、マイクロレンズ(43)上部より入射して前記基板上に形成されたゲ-ト電極(33a,33b,51)上に集光される入射光の軌跡(45)の外側周辺を、前記基板上でかつ前記軌跡の外側にのみ形成された多層配線層の少なくとも1層を使用して被覆したことを特徴とする固体撮像装置。

請求項（抜粋）：

内部増幅機能を有するマイクロレンズ付CMD受光素子を光電変換素子として用いた画素を、半導体基板上にマトリクス状に配置した固体撮像装置において、マイクロレンズ上部より入射して前記基板上に形成されたゲ-ト電極上に集光される入射光の軌跡の外側周辺を、前記基板上でかつ前記軌跡の外側にのみ形成された多層配線層の少なくとも1層を使用して被覆したことを特徴とする固体撮像装置。

前のページに戻る