液晶注入装置及びそれを用いた液晶表示装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-037148
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231333
出願日： 1998年02月19日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】液晶注入に要する時間を短縮した液晶注入装置及びその液晶注入装置を用いた液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板貼り合せ冶具を収容するロードロック部と、液晶注入用チャンバ部と、前記ロードロック部に収容された基板貼り合せ冶具から2枚の基板を貼り合せた後のパネルを取り出して液晶注入用チャンバに搬送する搬送機構を備えている。

請求項（抜粋）：

少なくとも、基板貼り合せ冶具を収容するロードロック部と、液晶注入用チャンバ部と、前記ロードロック部に収容された基板貼り合せ冶具から2枚の基板を貼り合せた後のパネルを取り出して前記液晶注入用チャンバに搬送する搬送機構部とを備えたことを特徴とする液晶注入装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1341 , G02F 1/13 101

FI (2件)：

G02F 1/1341 , G02F 1/13 101

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