特許
J-GLOBAL ID：200903093173833281
圧電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111604
公開番号（公開出願番号）：特開2000-307161
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 従来型のものに比べ歩留りを向上させることができる圧電アクチュエータを提供することである。特に、キャップとベースとの接合時に飛散する金属溶融物によって絶縁不良が起きない構造の圧電アクチュエータを提供することである。【解決手段】 ベース1と、このベース1に対して絶縁状態で配設された一対の端子4a,4bと、前記ベース1の上に配設され、かつ、前記端子が接続された圧電アクチュエータ素子3と、この圧電アクチュエータ素子3を被覆するチューブ5と、このチューブ5によって被覆された圧電アクチュエータ素子3を収納し、かつ、開口部側が前記ベース1に接合されたキャップ2とを具備してなる圧電アクチュエータである。
請求項（抜粋）：
ベースと、このベースに対して絶縁状態で配設された一対の端子と、前記ベースの上に配設され、かつ、前記端子が接続された圧電アクチュエータ素子と、この圧電アクチュエータ素子を被覆するチューブと、このチューブによって被覆された前記圧電アクチュエータ素子を収納し、かつ、開口部側が前記ベースに接合されたキャップとを具備してなる圧電アクチュエータであって、前記ベースにおいて前記圧電アクチュエータ素子が存在する側の面には凸部が構成されてなり、前記端子は、その一端が前記凸部の上端面から突出するよう配設されてなると共に、前記圧電アクチュエータ素子は前記凸部の上端面の上に配設されてなり、更に前記チューブは、前記圧電アクチュエータ素子と共に、前記凸部の少なくとも一部を被覆するよう設けられてなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/083
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 S
, H02N 2/00 B
, H01L 41/22 Z
