特許

J-GLOBAL ID：200903093177986619

湿度センサ及び湿度センサの製造方法

発明者： 小谷 勉 ,  高橋 敦子 ,  後藤 真史
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 道夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-007241
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214180
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 小型化しつつ、感湿膜溶液の液量や感湿膜の厚みの精度を高めて湿度測定特性を安定化する。【解決手段】 それぞれ複数のくし歯が形成された検出電極部14Aを先端側に有した一対の櫛形電極14が、セラミック基板12A上に備えられる。検出電極部14Aを挟む形で、一対の撥液部材20が、セラミック基板12A上における検出電極部14Aの周囲に配置される。一対の撥液部材20の間における検出電極部14Aが形成された部分を含むセラミック基板12Aの表面部分が、雰囲気中の湿気を吸収し得る高分子感湿膜16で覆われる。

請求項（抜粋）：

検出電極部が形成された基板の表面部分を感湿膜が覆っている湿度センサを製造する湿度センサの製造方法であって、前記検出電極部をマスキング材により覆った後に、前記感湿膜を形成する成分を含む感湿膜溶液をはじく撥液部材で、このマスキング材の少なくとも周辺を覆い、次に前記マスキング材を剥離し、この後、前記マスキング材が剥離された部分に感湿膜溶液を塗布して前記感湿膜を形成する、ことを特徴とする湿度センサの製造方法。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/00

FI (4件)：

G01N 27/12 G ,  G01N 27/12 K ,  G01N 27/12 M ,  G01N 27/00 B

Fターム (18件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB01 ,  2G046BB04 ,  2G046BC05 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046FA00 ,  2G046FB00 ,  2G046FB02 ,  2G046FE31 ,  2G046FE35 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AG10 ,  2G060JA02