特許
J-GLOBAL ID：200903093186530652
電子線縮小転写装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-348749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160005
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 より広い視野のマスクパターンの縮小像を高精度にターゲット上に転写する。【構成】 電子銃のカソード8から放出された電子線をコンデンサレンズ系10,11,13を介して電子線透過マスク7に照射し、このマスク7を透過した電子線を縮小結像レンズ系16,18を介してターゲット19上に導く電子線縮小転写装置において、その電子銃のカソード8の先端部を、直径が2mmの円が含まれる広さに形成した。
請求項（抜粋）：
電子銃のカソードから放出された電子線をコンデンサレンズ系を介してマスクに照射し、該マスクを透過した電子線を縮小結像レンズ系を介してターゲット上に導く電子線縮小転写装置において、前記電子銃のカソードの先端部を直径が2mmの円が含まれる広さに形成した事を特徴とする電子線縮小転写装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 B
, H01L 21/30 341 S
