特許
J-GLOBAL ID：200903093188836007
光回路
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187583
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034525
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 平面基板上に石英系ガラス光導波路を有する光回路の多機能高集積化及び生産性向上。【構成】 光導波路3のうち薄膜ヒータ7などにより機能化や特性調節を図った部分の下の平面基板2を、裏側面から加工して局所的に除去する。
請求項（抜粋）：
石英系ガラスを素材として作製された、光が伝搬するコア部とこのコア部の周りに形成されたコア部よりも屈折率が低いクラッド部とからなる光導波路を、平面基板の表側面上に具備する光回路において、前記平面基板のうち前記光導波路の下方の部分に、裏面側から加工された基板除去部分を有することを特徴とする光回路。
IPC (2件)：
引用特許：
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