特許
J-GLOBAL ID：200903093190190564
連続リアルタイムマイクロ波プラズマ元素センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-512254
公開番号（公開出願番号）：特表平9-504109
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】本発明は厳しい可変条件下に、マイクロ波誘導プラズマ及び原子放射分光器を使用して現場で炉排気ガスの成分を連続的に且つリアルタイムで監視する。センサは、マイクロ波エネルギー源と、マイクロ波エネルギー源に接続されてプラズマを発生するための短絡された耐熱性のマイクロ波伝導材料よりなる導波管を含む。高出力導波管は高温度の侵食性の環境に耐えるように構成されている。装置は分析すべきガスを通す開口を有し、分光器がプラズマからの光を受け取るように結合されている。分光器は受け取ったスペクトルを分析して元素を同定する。分光器は光を分散し、分散された光は分光器で測定される。センサは重金属鉛や水銀のような所望の元素の定量を連続的に且つリアルタイムで行う。
請求項（抜粋）：
マイクロ波エネルギー源と、 プラズマを発生するために前記マイクロ波エネルギー源に接続され、耐熱材を使用したマイクロ波伝導性材料より製作され、且つ分析すべきガスを通す開口を備えている短絡された導波管と、 前記プラズマからの光を受けるように結合された分光器と、 を備えたマイクロ波誘導プラズマ(MIP)センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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