特許
J-GLOBAL ID：200903093191702151
アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136669
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160001
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】比較的簡素な構成であるにもかかわらず、投影レンズの軸上色収差を補正すると同時に倍率色収差をコントロールすることにより、アライメント光学系の配置を容易にしながら、投影レンズの設計及び製造を容易できる高性能なアライメント装置の実現を図る。【構成】レチクルのパターンを基板に転写する投影レンズを備えた露光装置に設けられたアライメント装置において、上記レチクルと基板との間に、アライメント光に対して、軸上色収差を補正しながら倍率色収差をコントロールする機能を有する補正光学素子を配置した。
請求項（抜粋）：
レチクル上に形成された所定のパターンを露光光によって基板上に転写する投影レンズを備えた露光装置に設けられ、前記レチクルと前記基板との相対的な位置合わせを行うアライメント装置において、前記露光光とは異なる波長光のアライメント光を前記投影レンズを介して前記基板上に形成されたアライメントマークに照射する光照射手段と、該アライメントマークからの光を前記投影レンズを介して検出する検出手段とを有し、前記レチクルと前記基板との間に、照射光に対して投影レンズの軸上色収差と倍率色収差とは反対方向の軸上色収差と倍率色収差とを発生させる照射光補正光学素子と、検出光に対して投影レンズの倍率色収差とは反対方向の倍率色収差を発生させる検出光補正光学素子とを設け、前記照射光補正光学素子は、前記照射光のもとで前記アライメントマークの仮想的な像が投影レンズにより前記レチクル側に投影される第1の位置での前記投影レンズの軸上色収差量と同等な軸上色収差量を発生させるとともに前記第1の位置での前記投影レンズの倍率色収差量以上の倍率色収差量を発生させて、前記露光光のもとで前記アライメントマーク像が投影レンズにより前記レチクル上に投影される第2の位置を境界として含む非露光領域の周辺側へ照射光路を偏向させ、検出光補正光学素子は、前記第1の位置での前記投影レンズの倍率色収差量以上の倍率色収差量を発生させて、前記第2の位置を境界として含む非露光領域の周辺側へ検出光路を偏向させることを特徴とするアライメント装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 9/00
