特許

J-GLOBAL ID：200903093197134929

超格子構造を有する強誘電体薄膜及び該薄膜を備える赤外線センサ・圧力センサ

発明者： 田畑 仁 ,  村田 修
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 塩出 真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174933
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082097
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 誘電体薄膜において、格子定数の差により、薄膜表面の面内方向に格子歪による圧力を発生させ、これにより、構成イオンの定常位置の変位を人工的に大きくすることができる超格子構造を有する強誘電体薄膜並びに、この薄膜を備える特性の優れた赤外線センサ及び圧力センサを提供する。【構成】 異なる格子定数の強誘電体を少なくとも2種類交互に積層して強誘電体薄膜を構成する。

請求項（抜粋）：

異なる強誘電体を少なくとも2種類積層したことを特徴とする超格子構造を有する強誘電体薄膜。

IPC (8件)：

C30B 29/68 ,  C23C 14/08 ZAA ,  C30B 29/32 ,  G01J 1/02 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/12 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/08