特許

J-GLOBAL ID：200903093213215098

検査装置

発明者： 古屋 和彦
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359700
公開番号（公開出願番号）：特開2005-122059
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】検査対象物の検査領域における異常の有無を、短時間かつ高精度に判別することができる検査装置を提供すること。【解決手段】検査装置100は、光透過性を有する第1の部材、第2の部材を有する検査対象物を介して、前記第2の部材側に位置し、前記検査対象物の検査領域に対して光を照射する第1の同軸落射照明装置と、前記検査領域に対して光を照射する第1の落射照明装置と、前記検査領域からの光を受光する第1の撮像手段と、前記検査対象物を介して、前記第2の部材と反対側に位置し、前記検査領域に対して光を照射する第2の同軸落射照明装置と、前記検査領域に対して光を照射する第2の落射照明装置と、前記検査領域からの光を受光する第2の撮像手段と、前記第1の撮像手段および/または前記第2の撮像手段によって得られた画像の輝度データに基づいて、前記検査領域における異常の有無を判別する判別手段とを備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

光透過性を有する第1の部材と、該第1の部材に設けられる光透過性を有する第2の部材とを有する検査対象物に対して検査を行なう検査装置であって、 前記検査対象物を介して、前記第2の部材側に位置し、前記検査対象物の検査領域に対して光を照射する第1の同軸落射照明装置と、前記検査領域に対して光を照射する第1の落射照明装置と、前記検査領域からの光を受光する第1の撮像手段と、 前記検査対象物を介して、前記第2の部材と反対側に位置し、前記検査領域に対して光を照射する第2の同軸落射照明装置と、前記検査領域に対して光を照射する第2の落射照明装置と、前記検査領域からの光を受光する第2の撮像手段と、 前記第1の撮像手段および/または前記第2の撮像手段によって得られた画像のデータに基づいて、前記検査領域における異常の有無を判別する判別手段とを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G09F9/00 ,  G02F1/1345

FI (3件)：

G09F9/00 352 ,  G09F9/00 348Z ,  G02F1/1345

Fターム (19件)：

2H092GA48 ,  2H092GA55 ,  2H092GA60 ,  2H092MA32 ,  2H092MA55 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H092PA13 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435BB15 ,  5G435CC09 ,  5G435EE37 ,  5G435EE40 ,  5G435EE42 ,  5G435HH12 ,  5G435HH14 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 異方性導電テープの貼着装置および貼着状態の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-178505   出願人：松下電器産業株式会社