特許

J-GLOBAL ID：200903093214136825

感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-036985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204157
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【構成】特定の構造式で表わされる繰返し単位を有し、かつポリスチレン換算重量平均分子量/ポリスチレン換算数平均分子量の比が2.0以下である重合体 および(B)感放射線剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】本発明の感放射線性樹脂組成物は、エキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電粒子線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位(A)、下記式(2)【化2】で表わされる繰返し単位(B)、下記式(3)【化3】で表わされる繰返し単位(C)、下記式(4)【化4】で表わされる繰返し単位(D)、のうち、少なくとも繰返し単位(C)を含有し、繰返し単位(A)の繰返し数をa、繰返し単位(B)の繰返し数をb、繰返し単位(C)の繰返し数をc、繰返し単位(D)の繰返し数をdとすると、a、b、cおよびdは、0≦a/(a+b+c+d)≦0.2、0≦b/(a+b+c+d)≦0.5、0.5≦c/(a+b+c+d)≦1.0および0≦d/(a+b+c+d)≦0.2を満たす数であり、かつポリスチレン換算重量平均分子量/ポリスチレン換算数平均分子量の比が2.0以下である重合体 および(B)感放射線剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027