特許

J-GLOBAL ID：200903093218148828

液体供給方法および装置

発明者： 村角 真樹 ,  村松 智明 ,  松山 良二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-053506
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246162
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 液体を供給される処理対象物上にマイクロバブルを発生させることを低減できる液体供給方法および装置に関し、より均一な液体処理を可能とする液体供給方法を提供する。【解決手段】 気体を溶解した液体に圧力の変化を与えて気泡を発生させる発泡工程と、前記気泡を除去する脱気工程と、気泡を除去された液体を整流して断面が連続した細長い形状の液体流として供給する給液工程とを含む液体供給方法。

請求項（抜粋）：

気体を溶解した液体に圧力の変化を与えて気泡を発生させる発泡工程と、前記気泡を除去する脱気工程と、気泡を除去された液体を整流して断面が連続した細長い形状の液体流として供給する給液工程とを含む液体供給方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  G03F 7/30 501