特許
J-GLOBAL ID:200903093237679451

ハードディスク用基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-323426
公開番号(公開出願番号):特開平5-171411
出願日: 1991年12月06日
公開日(公表日): 1993年07月09日
要約:
【要約】【目的】 優れた表面平滑度、表面粗度、硬度、耐久性を示す表面保護膜を有するハードディスク用基板を提供する。【構成】 前記表面保護膜は、金属相と硬質相との複合相からなる。前記表面保護膜は、真空蒸着法によりハードディスク用基板となるアルミニウム合金の表面に形成される。前記金属相は、NiもしくはCoである。前記硬質相は、周期律表第IV族の遷移金属、周期律表第V族の遷移金属、周期律表第VI族の遷移金属、Al、Siのうちの少なくとも一つの窒化物もしくは炭化物もしくはほう化物である。表面保護膜中における金属相の割合は、5重量%〜85重量%であることが好ましい。
請求項(抜粋):
アルミニウム合金の表面に形成された金属相と硬質相との複合相からなる表面保護膜を有することを特徴とするハードディスク用基板。
IPC (2件):
C23C 14/06 ,  C23C 28/00

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