特許
J-GLOBAL ID：200903093244489986
回折格子プロッター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-043057
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241008
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は、装置構成が極めて簡単で、かつ装置の調整も極めて簡便で、しかも乾板(感光材料)を損傷することなく任意の形の回折格子を精度よく簡便にかつ自動的に連続して作製できることを最も主要な目的としている。【構成】感光材料を塗布した乾板を移動させるX-Yステージと、レーザー光を発生するレーザー光源と、レーザー光を受け、露光,非露光を行なうシャッターと、任意の形の回折格子に対応した形状の切抜部/透光部が設けられ、シャッターからのレーザー光を受けるマスクと、回折格子が形成され、レーザー光を回折し3つ以上のレーザー光に分岐する回折格子形成体と、各レーザー光のうち選択された所定の2つのレーザー光を通過させるレーザー光選択手段と、この2つのレーザー光を乾板上に結像する結像手段と、X-Yステージの移動、シャッターの開閉を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レーザー光を用い、その2光束干渉によってドット状の回折格子を作製する装置において、回折格子を形成するための感光材料を塗布した乾板が載置され、当該乾板を移動させるX-Yステージと、レーザー光を発生するレーザー光源と、前記レーザー光源からのレーザー光を受け、その開閉によって露光,非露光を行なうシャッターと、形成しようとする任意の形の回折格子に対応した形状の切抜部または透光部が設けられ、前記シャッターからのレーザービームを受けるマスクと、回折格子が形成され、前記マスクの切抜部または透光部からのレーザー光を回折して3つ以上のレーザー光に分岐する回折格子形成体と、前記回折格子形成体により分岐されたレーザー光のうち、選択された所定の2つのレーザー光を通過させるレーザー光選択手段と、前記レーザー光選択手段により選択された2つのレーザー光を前記乾板上に結像する結像手段と、読み取られたデータに基づいて、前記X-Yステージの移動、前記シャッターの開閉をそれぞれ制御する制御手段と、を備えて成ることを特徴とする回折格子プロッター。
IPC (2件)：
前のページに戻る
