特許
J-GLOBAL ID:200903093246252088

活性エネルギー線硬化性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-168030
公開番号(公開出願番号):特開平8-339084
出願日: 1995年06月09日
公開日(公表日): 1996年12月24日
要約:
【要約】【目的】 アルカリ現像性に優れている、すなわちアルカリ水溶液による現像が容易な活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を提供する。また、レジスト材料などとして用いられた場合、活性エネルギー線に対する感度が良好で、鮮明な画像が得られる上に、ノンタック性の被膜を与え、しかも硬化後の樹脂の耐アルカリ性および耐化学薬品性に優れた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を提供する。【構成】 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基などの酸基を有する親水性セグメント(I)、(メタ)アクリル酸エステルなどから形成される疎水性セグメント(II)からなるブロック共重合体、(B)重合性単量体および(C)重合開始剤を含有する。ブロック共重合体中のセグメント(I)のガラス転移温度(Tg)が-5°C以上であり、セグメント(I)またはセグメント(II)のガラス転移温度(Tg)が80°C以下である。
請求項(抜粋):
(A)酸基を有する親水性セグメント(I)と、疎水性セグメント(II)とからなるブロック共重合体、(B)活性エネルギー線の照射により重合する重合性単量体および(C)活性エネルギー線により重合性単量体の重合を開始させるための重合開始剤を含有し、前記ブロック共重合体(A)中の疎水性セグメント(II)のガラス転移温度(Tg)が-5°C以上であり、かつ酸基を有する親水性セグメント(I)または疎水性セグメント(II)のガラス転移温度(Tg)が80°C以下である活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/28
FI (6件):
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/28 D

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