特許

J-GLOBAL ID：200903093250830193

部品供給方法

発明者： 角野 宣彰 ,  木藤 憲一郎
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348759
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293795
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】 ウエーハを細分割して得られた多数の部品を次工程に供給するにあたり、得られた部品に損傷が生じ難く、部品供給能力に優れており、次工程に部品を整然とかつ安価に供給することを可能とする方法を得る。【構成】 基準部位としての側面15a〜15dを有するパレット15の上面に、加熱により粘着力が低下する発泡剥離性の第1の粘着剤層13を上面に有する粘着シート11を貼り付け、該粘着シート11の上面にウエーハ16を貼り付け、ウエーハ16を切断して多数の部品17を得、加熱により第1の粘着剤層13の粘着力を低下させ、ウエーハの切断により得られた個々の部品17をパレット15上から取り出すにあたり、上記粘着シート11の貼り付け、ウエーハ16の貼り付け及び部品17の取り出しに際しての位置決めをパレット15の側面15a〜15dを基準部位として行う、部品供給方法。

請求項（抜粋）：

後で行われる処理に際しての位置決めを行うための基準部位を有するパレットと、基材の一面に、加熱されることにより粘着力が低下する発泡剥離性の第1の粘着剤層を、他面に加熱により粘着力が低下しない、または前記第1の粘着剤層よりも加熱による粘着力の低下が少ない第2の粘着剤層を形成してなる粘着シートとを用意し、前記パレットの一面に前記第2の粘着剤層側から前記粘着シートを貼付し、前記パレットの基準部位に対して所定の位置関係を有するように、前記粘着シートの第1の粘着剤層上にウエーハを貼り付け、前記基準部位に基づいて前記ウエーハを切断して個々の部品を得、加熱により前記第1の粘着剤層の粘着力を低下させ、ウエーハの切断により得られた個々の部品を、前記基準部位に基づいてパレット上から取り出す、各工程を備えることを特徴とする、部品供給方法。

IPC (4件)：

B26D 7/18 ,  B26D 7/02 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-012937
  
• 特開平3-030442
  
• 特開昭63-033487