特許
J-GLOBAL ID：200903093254835483
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 将高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259595
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102521
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 従来のプローブカードの大幅な変更なしに、プローブの電気的特性を改善することである。【解決手段】 プローブ4を基板1に固定する支持体5から半導体素子のボンディングパッド11に接触するプローブ4の先端までのプローブ端部分に、近接させて基板1に導電性のグランドプレーン7を固着し、このグランドプレーン7を基板1のグランド8に接続してプローブ4のインピーダンス制御を行う構成を特徴としている。
請求項（抜粋）：
被測定ウエハ上に形成された半導体素子のボンディングパットにプローブを触針し、前記半導体素子の電気特性試験に用いられるプローブカードにおいて、前記プローブを基板に固定する支持体から半導体素子のボンディングパッドに接触するプローブの先端までのプローブ端部分に近接させて前記基板に導電性のグランドプレーンを固着したことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 B
, G01R 1/073 E
