特許

J-GLOBAL ID：200903093268636890

電気信頼性の高い感光性樹脂組成物並びにその利用

発明者： 岡田 好史 ,  山中 俊夫
出願人/特許権者： 株式会社カネカ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206605
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055545
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】アルカリ水溶液系の水系現像液で現像が可能で、電気特性に優れ、反りの少ない感光性樹脂組成物、及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト、感光性カバーレイを提供すること。【解決手段】(A)カルボキシル基を有する高分子バインダー、(B)(メタ)アクリル系化合物、(C)単官能のエポキシ化合物、及び(D)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物、並びにそれを用いて作製される感光性ドライフィルムレジストおよび感光性カバーレイ。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基を有する高分子バインダー、(B)(メタ)アクリル系化合物、(C)単官能のエポキシ化合物、及び(D)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  G03F7/24

FI (6件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/20 511 ,  G03F7/24 G

Fターム (17件)：

2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC97 ,  2H025BD03 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H097AA16 ,  2H097CA04 ,  2H097LA01