特許

J-GLOBAL ID：200903093276023253

集積回路

発明者： 中山 究
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 伊藤 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-114913
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298160
出願日： 2000年04月17日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 LSI製造時に温度校正データをLSI内に保存し、電子装置に組み込まれた後でも、人手介入なしで、高精度のチップ温度測定を可能にする。【解決手段】 電圧測定回路3は感熱素子2に定電流回路4から電流を流し、電圧測定回路5で感熱素子2の両極間の電圧を測定し、測定結果をAD変換回路7に出力し、演算回路8では、AD変換回路7から出力される電圧データと、不揮発生補正値保持回路6から出力される温度校正データを入力し、校正された温度データを演算し、読出インタフェース9を介して制御手段10に出力する。制御手段10は冷却機構制御装置12を制御し冷却能力を上げ、LSI1の温度を動作保証温度以内に制御し、また、LSIを焼損等から保護するため、電源制御装置11を制御し、電源を切る。保持回路6に格納する温度校正データはLSI1に電源を供給する前に、感熱素子2の特性を検査することにより取得しておく。

請求項（抜粋）：

集積回路内に設けた感熱素子の電極間に発生する電圧を測定し、感熱素子の温度依存性を利用して集積回路のチップ温度を測定する集積回路において、前記感熱素子の電極間に発生する電圧を測定する測定手段と、前記感熱素子の温度校正データを保持しデータの書き込み可能な不揮発性補正値保持回路と、前記測定手段の出力である電圧値と、前記不揮発性補正値保持回路から出力される温度校正データを入力し、前記集積回路の校正された温度データを算出し出力する演算回路を備えることを特徴とする集積回路。

IPC (4件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 31/26 G ,  H01L 27/04 T ,  G01R 31/28 U

Fターム (13件)：

2G003AA07 ,  2G003AC03 ,  2G003AF02 ,  2G003AH01 ,  2G032AA00 ,  2G032AB13 ,  2G032AK11 ,  2G032AL00 ,  5F038AZ08 ,  5F038BH04 ,  5F038BH16 ,  5F038DF07 ,  5F038EZ20