フオトレジスト除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302450
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114555
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】円形以外の形状の被処理体の周辺部から迅速に不要なフォトレジストを除去する。【構成】フォトレジスト4を塗布した被処理体10の周辺部11から不要なフォトレジストを除去するフォトレジスト除去装置において、上記被処理体10の周辺部11に沿って移動しつつこの周辺部11にフォトレジストを溶解する溶剤を吐出させる溶剤吐出手段14を設けると共に、上記フォトレジストの溶解した上記溶剤を吸引して排除するための、吸引管22を有する吸引手段16を設け、これによりパーティクルの発生原因となる不要なフォトレジストを除去する。

請求項（抜粋）：

フォトレジストを塗布した被処理体の周辺部から不要なフォトレジストを除去するフォトレジスト除去装置において、前記被処理体に対して相対移動しつつ前記被処理体の周辺部に前記フォトレジストに対する溶剤を吐出させる溶剤吐出手段と、前記フォトレジストの溶解した溶剤を前記被処理体の表面から吸引して排除する吸引手段とを備えるように構成したことを特徴とするフォトレジスト除去装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-061917
特開平2-157763
特開平3-206609

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