レジスト塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150430
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343310
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】コータカップ内で基板にレジストを塗布した際、このコータカップの底に流れ落ちるレジストをドレイン配管から排出するレジスト塗布装置に関し、特にドレイン配管の内壁に付着しているレジストを自動的に洗浄できるレジスト塗布装置の提供を目的とする。【構成】ドレイン配管33から排出されるレジスト12に含まれる溶媒13を分離する溶媒分離手段Aと、この溶媒分離手段Aにより分離された溶媒13を制御装置45により制御されてドレイン配管33内に噴出し、このドレイン配管33の内壁に付着しているレジスト12を洗浄する溶媒噴射手段Bとを含ませてレジスト塗布装置を構成する。

請求項（抜粋）：

表面に液状のレジスト(12)を滴下された基板(11)をコータカップ(32)内で水平方向に回転し、この基板(11)の表面に前記レジスト(12)を塗布する際に、このコータカップ(32)の底に流れ落ちる前記レジスト(12)をドレイン配管(33)から排出するレジスト塗布装置において、前記ドレイン配管(33)から排出される前記レジスト(12)に含まれる溶媒(13)を分離する溶媒分離手段(A) と、前記溶媒分離手段(A) により分離された前記溶媒(13)を制御装置(45)により制御されて前記ドレイン配管(33)内に噴出し、このドレイン配管(33)の内壁に付着している前記レジスト(12)を洗浄する溶媒噴射手段(B) とを有することを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/304 341

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