光学系測定画像による磁気ヘッドの欠陥検査方法および欠陥検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶山佶是 , 山本富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148718
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354064
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】ヘッドの特定の部分の欠陥を撮像画像から抽出してその部分の欠陥を精度よく検出することができる磁気ヘッドの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、磁気ヘッドのスライダ面を測定画像として得て、この測定画像から検査対象となるヘッド構成部分の輝度とこのヘッド構成部分の背景となる輝度との間の輝度を基準として測定画像のデータを二値化することで第1のマスク画像を生成し、測定画像の画像データの画像データに対してあるいは測定画像に応じて生成されたスライダ面の画像の画像データに対して第1のマスク画像の二値化データによりマスク処理をして欠陥についての画像データを抽出するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

顕微鏡光学系を介して磁気ヘッドをカメラにより撮像して測定画像を得て前記磁気ヘッドの欠陥を検査する光学系測定画像による磁気ヘッドの欠陥検査方法であって、前記磁気ヘッドのスライダ面を前記測定画像として得て、この測定画像から検査対象となるヘッド構成部分の輝度とこのヘッド構成部分の背景となる輝度との間の輝度を基準として前記測定画像のデータを二値化することで第1のマスク画像を生成し、前記測定画像の画像データに対してあるいは前記測定画像に応じて生成された前記スライダ面の画像の画像データに対して前記第1のマスク画像の二値化データによりマスク処理をして前記欠陥についての画像データを抽出する光学系測定画像による磁気ヘッドの欠陥検査方法。

IPC (4件)：

G01B11/30 , G01B11/02 , G01N21/88 , G11B5/455

FI (4件)：

G01B11/30 A , G01B11/02 H , G01N21/88 Z , G11B5/455 E

Fターム (37件)：

2F065AA06 , 2F065AA23 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065AA61 , 2F065CC37 , 2F065FF04 , 2F065FF42 , 2F065GG03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL20 , 2F065LL33 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ04 , 2F065QQ13 , 2F065QQ24 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2F065QQ37 , 2F065QQ43 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA08 , 2G051EA09 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051ED01 , 2G051ED03

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