ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303512
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148889
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】高い感光性を有しかつ広範囲の波長光での使用が可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】ポジ型感光性組成物として、(a) 下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物と、(b) 酸成分及び水酸基を有する線状高分子と、(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物とを配合し、かつ(a) 成分と(b) 成分とを熱により架橋させた。【化1】式中、 R1 、R2及びR3は、水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一又は異なっていてもよく、また、それらの内の2つが結合して、飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸成分及び水酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とを熱により架橋させたことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭55-012995
特開昭63-071840
特開平2-019847

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