光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019694
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202388
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】コヒーレント光を用いて被加工物にパターンを安定して高精度に微細加工する光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法を得ること。【解決手段】光源から放射されたコヒーレント光でマスク面上に設けた周期構造のパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影するようにした光加工機において、該光学系は該マスクから生ずる回折光のうち異なる次数の回折光が重なり合う領域に位置する光学部材A1に異なる次数の回折光が重ならない領域に位置する光学部材B1に比べて、光吸収による光路長変動の小さい材質の光学部材を用いていること。

請求項（抜粋）：

光源から放射されたコヒーレント光でマスク面上に設けた周期構造のパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影するようにした光加工機において、該光学系は該マスクから生ずる回折光のうち異なる次数の回折光が重なり合う領域に位置する光学部材A1に異なる次数の回折光が重ならない領域に位置する光学部材B1に比べて、光吸収による光路長変動の小さい材質の光学部材を用いていることを特徴とする光加工機。

IPC (3件)：

B23K 26/06 , B23K 26/00 , B41J 2/135

FI (3件)：

B23K 26/06 E , B23K 26/00 G , B41J 3/04 103 N

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